一、改变电源的频率，即采用变频器。采用变频器的好处是可以给真空泵提供一个闭环控制，但在大负载下容易引起扭距的损失。

二、改变齿轮箱的传动比。改变真空泵齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法，但是，它只能提供不可控的单一转速。干式真空泵有着不同设计，它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于螺杆式真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。格绿建议用户认为耗电量对他们来说为重要而氮气用量对他来说不重要，那么内部压缩型螺杆式真空泵可以是一个好的选择。